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欧姆接触需要什么条件?欧姆接触制备是什么?

http://www.newdu.com 2017-08-24 历史之家 佚名 参加讨论

    
    欧姆接触
    欧姆接触是指金属与半导体的接触,而其接触面的电阻值远小于半导体本身的电阻,使得组件操作时,大部分的电压降在于活动区(Activeregion)而不在接触面。
    欲形成好的欧姆接触,有二个先决条件:
    (1)金属与半导体间有低的界面能障(Barrier Height)
    (2)半导体有高浓度的杂质掺入(N≧10EXP12cm-3)
    前者可使界面电流中热激发部分增加;后者则使界面空乏区变窄,电子有更多的机会直接穿透(Tunneling),而同使Rc阻值降低。
    若半导体不是硅晶,而是其它能量间隙(Energy Cap)较大的半导体(如Ga,As),则较难形成欧姆接触(无适当的金属可用),必须于半导体表面掺杂高浓度杂质,形成Metal-n+-norMetal-p+-p等结构。
    欧姆接触制备
    欧姆接触制备是材料工程里研究很充分而不太有未知剩余的部分。可重复且可靠的接触制备需要极度洁净的半导体表面。例如,因为天然氧化物会迅速在硅表面形成,接触的性能会十分敏感地取决于制备准备的细节。
    接触制备的基础步骤是半导体表面清洁、接触金属沉积、图案制造和退火。表面清洁可以通过溅射蚀刻、化学蚀刻、反应气体蚀刻或者离子研磨。比如说,硅的天然氧化物可以通过蘸氢氟酸(HF)来去除,而砷化镓(GaAs)则更具代表性的通过蘸溴化甲醇来清洁。清洁过后金属通过溅射、蒸发沉积或者化学气相沉积(CVD)沉积下来。溅射是金属沉积中比蒸发沉积更快且更方便方法但是等离子带来的离子轰击可能会减少表面态或者甚至颠倒表面电荷载流子的类型。正因为此更为平和且依然快速的CVD是更加为人所倾向的方法。接触的图案制造是通过标准平版照相术来完成的,比如剥落中接触金属是通过沉积于光刻胶层孔洞之中并稍后取出光刻胶来完成的。沉积后接触的退火能有效去除张力并引发有利的金属和半导体之间的反应。
    欧姆接触与肖特基接触有什么不同?
    肖特基接触是指金属和半导体材料相接触的时候,在界面处半导体的能带弯曲,形成肖特基势垒.势垒的存在才导致了大的界面电阻.与之对应的是欧姆接触,界面处势垒非常小或者是没有接触势垒.

(责任编辑:admin)
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