本书第六卷是《读碑别体字》，汇集了本书所收诸碑刻的特殊用字，为我们读懂诸碑提供了一把珍贵的钥匙。本书共收当时存在和所得拓本共三百余通，诚如他的门人潘耒所说：“其数少于欧、赵，而考论详核不啻过之。”（本书《补遗》卷首）这个评价应该说是公允的。
    在金石文字方面，最后我们要提及的是顾炎武对历代石经的研究，其主要著作有《石经考》，以及主要利用石经校刊监本九经的《九经误字》，同时，《金石文字记》卷五专记唐石经，都是在这方面所取得的成果。
    从东汉到南宋，我国共出现过七种石刻儒家经典，这就是汉《熹平石经》、魏《正始石经》、《晋石经》，唐《开成石经》、《孟蜀石经》、宋《嘉祐石经》、南宋高宗《御书石经》。顾炎武的《石经考》引证史书和其它记载，考订了各石经的刊立始末及残毁情况，评述了它们各自的特点。例如对唐《开成石经》，刘昫的《旧唐书》多有贬辞，说“石经立后数十年，名儒皆不窥之，以为芜累甚矣”。顾炎武接着写道：“《旧史》之评如此！愚初读而疑之，又见《新书》无贬辞，以为《石壁九经》虽不逮古人，亦何遽不贤于寺碑、冢碣？及得其本而详校之，乃知经中之缪戾非一，而刘昫之言不诬也。”（见《金石文字记》卷五）于是顾炎武便把所校《开成石经》的错误，择其大略一一开列了出来，足资研究者参考。需要强调的是，顾炎武校石经，并不仅仅凭拓本，而是有相当部分是与原石对过的。例如开成中，唐玄度曾增补张参的《五经文字》，成《九经字样》，一并刻于《唐石经》之后。他说：“近代有好事者，刻《九经补字》，并属诸生补此书（按指《五经文字》）之阙，以意为之，乃不知此书特《五经》之文，非经所有者不载，而妄添经外之字，并及字书中泛博之训。予至关中，洗刷元石，其有一二可识者，显与所补不同，乃知近日学者之不肯阙疑，而妄作如此！”（《日知录》卷一八《张参五经文字》条）这里特别值得注意的是“洗刷元石”，辨识石刻原文，其一丝不苟的认真精神跃然纸上，令人敬佩。同时，也足以令我们相信，他对《唐石经》的校理，有很高的可靠性，为后人研究石经文字提供了方便。
    《唐石经》虽然颇有讹误，但毕竟是“唐刻本”，仍有不少可取之处。顾炎武就曾用《唐石经》勘正过监本九经之失，写成了《九经误字》一卷，辨析是非明白有据，是近世“校勘记”的雏型。如《周易·大有》卦，其《象》辞有这么一句：“匪其朋无咎，明辩哲也。”顾炎武辨析说：“《石经》‘哲’字从‘折’从‘日’，与《诗》‘明星晢晢’之‘哲’同，音‘折’，又音‘制’。监本误从‘析’，作曾皙之皙，非。”这段文字实际已包括了监本原字作某，根据《唐石经》改作某，并申述了为什么要根据《唐石经》校改的理由，这都是校勘记应包括的基本内容。这种校勘记因为记录了“原作某”，既便误改了，也不会失去古籍的本来面貌，或者说，仍可以据以回改，可以说，它的严谨性也正体现在这里。可以毫不夸张地说，顾炎武的这些辨析文字，为我们校勘古籍作了很好的示范。
    我们在本文开篇即已指出，顾炎武一生著述繁富，除上述提及的外，其它不少著作中都有与历史文献学相关的内容，如《京东考古录》中的《补注汉书二燕传》、《正后汉志误字》等都是。特别是后一条辩《后汉志》“昌辽”乃“昌黎”之误，引证了《汉书》及应劭注，又引证了胡三省《通鉴》注，虽无版本根据，但顾炎武说“可以意改者也”。这应该就是后来称作“理校”的先例，它对我们理解这一校勘方法不无益处。