康熙末年、雍正年间，厅的层级由单一趋向多样。隶属于省、下辖县的直隶厅出现，标志着部分厅的长官(同知或通判)已经与府的长官(知府)地位相近，处于同样的行政层级。康熙五十七年(1718年)，甘肃省置柳沟、靖逆两直隶厅(29)。由于尚未见到这两个直隶厅设置的具体材料，因此，难以对此进行分析。雍正八年(1730年)，叙永厅升为直隶厅，下辖永宁县(原属叙州府)，成为与叙州府并列、共同隶属于四川省的府级行政区划(30)。乾隆的上谕中也间接记载了叙永厅层级的变化：“乾隆元年五月二十一日，内阁奉上谕：朕闻四川叙州府属之南溪县，直隶泸州并泸属之纳溪、江安、合江、九姓司，又叙永厅并所属之永宁县……”(31) 虽然没有出现“直隶”字样，但在乾隆眼里，叙永厅已经与叙州府、直隶泸州并列，下辖属县。乾隆《清会典》记载为“四川总督(治成都府)所属府十有一、同知一、直隶州九、土司五十有七”(32)。雍正十一年(1733年)十月乙卯，四川省又设立一个辖有属县的厅：“改四川重庆府属之黔江县隶重庆府分驻黔江同知管辖，兼辖附近彭水一县。”(33) 嘉庆年间的文献，径称重庆府分驻黔江同知为黔彭厅：黔江县“本朝顺治十五年归附，仍属重庆府。雍正十二年，改隶黔彭厅”(34)。这两个厅无“直隶”之名，有“直隶”职能之实，说明将厅划分为不同层级的过程正在进行中(35)。
    随着抚民厅制度诸要素的不断完善，出现了两个新的趋势：一是厅制与州制、县制之间的相互转换开始出现，即改厅为州县、改州县为厅的现象出现；二是“某某厅”、“府厅州县”等名词先后见之于《清实录》。前者如雍正十一年(1733年)改热河厅为承德州，至乾隆七年(1742年)又改承德州为热河厅(36)；又如乾隆十二年(1747年)，陕西省改潼关县为潼关厅。这种厅-州、州-厅、县-厅之间的互相转换，说明厅、州、县三种政区之间已经没有实质性的差别。后者仍以四川叙永厅为例，如前所述，康熙《叙州府志·叙永厅志》已经称叙永同知辖区为叙永厅，并得到四川巡抚、按察使等地方大员的承认。但这只是地方文献的记载，在同时期的清廷文献中还很少有“某某厅”的记载。雍正十二年(1734年)九月乙未，《世宗实录》出现“叙永厅”这个专用名词：“谕内阁：四川叙永厅与永宁县同处一城，从前厅隶四川，县隶贵州，各设税口，征收盐杂等课。”(37) 说明清中央政府已经承认叙永厅是与县等同的行政区划。《世宗实录》中另一条记载更具象征意义：雍正十二年(1734年)四月“甲子，谕内阁：各省府、厅、州、县，俱有地方民社、刑名钱谷之责，不应无故赴省谒见上司，擅离职守”(38)。由此可见，最迟至雍正末年，厅已经与府州县一样，成为地方行政制度的组成部分，并得到了皇帝的认可。从此，“府厅州县”作为地方行政区划的代名词，一直沿用到清朝灭亡。
    四 “抚民厅”一词的出现与厅制的最终形成
    前面考察的几个厅，除了黔彭厅以外，在地理分布上都有一个共同点，均是位于原先不设州县的少数民族自治地区，与原有的州县不发生行政区划上的关系。乾隆八年(1743年)江西省析永新、安福两县区域置莲花厅，是在州县境内设立新政区。新政区的设立，必然会对原有州县的幅员有所调整。记载莲花厅设置过程的文献比较完整，向我们展示了一个完全的演变过程，是一个典型的案例：一、因地方多事，知县难以管理县内某一区域的地方治安，由驻在府城的分防同知弹压；二、效果不佳，改为分防同知移驻多事之地直接弹压，形成分防厅；三、为加强对地方的综合管理，分防同知改为行政长官，分防厅演变为行政区划。
    砻西地区位于江西省吉安府永新县西，距县城二百余里，地接湖南省，地形上是典型的山区。由于交通不便，民风犷悍，居民抗粮拒捕，永新县知县鞭长莫及，难以管理。康熙三十九年(1700年)，永新县知县提出派员弹压，经巡抚上报清廷后，部议答复以吉安府分防同知弹压该地区。由于分防同知驻扎在府城，因此，各任分防同知“相沿视同传舍，或间月一至，或终年在郡，遂令抗粮拒捕之风牢不可破”。分防同知没有发挥其作用。由于与砻西相邻的安福县西部上西乡，“其刁顽亦不下砻西，素称难治”，同样需要加强治安管理。雍正五年(1727年)，江西巡抚将吉安府分防同知移驻砻西、上西两乡适中的莲花桥，职责为“弹压(砻西、上西两乡)军民，代征逋赋”。这时设立的莲花桥同知厅，只是派遣厅，还不是政区。莲花桥分防同知厅设立后，效果并不理想，分防同知“催科而外，素不干预民事，则里閈之阽危，豪强之兼并，概置不问”(39)。
    为了改变这种状况，乾隆七年(1742年)，江西巡抚陈宏谋向清廷题请设立新县。但是，这个请求遭到了乾隆的断然否决：“增设一官，则文移期会，事绪益纷，供给迎送，闾阎滋扰。且封疆骤改，奸宄或致潜藏，官吏日增，责任转无专属。自后必州县离府窵远，实宜改隶，市镇繁杂之地，须添官弹压者，方准具题酌度，其余不许渎奏。”设立新县的题奏遭到否定，而莲花桥不设治又确实难以治理。巡抚陈宏谋旋于次年再次上奏，要求“援照湖南乾州州同、凤凰营通判管理民事之例，复请拨两乡民屯钱漕及刑名事件，分设一厅专辖”，并对拟设的莲花厅的管辖区域、官员配备及职能都提出了具体的设想，“户口、田赋之殷繁，需员分理，并照湖南永绥同知设立经历之例，改永新栗付寨巡检为厅照磨，移安福黄茅巡检于黄陂，典狱司巡宣猷罔慝。又虑改编之衿监不可无司铎以董成，改永新训导移驻厅学，学田酌拨如例”(40)。莲花厅同知之缺，定为繁疲难三项相兼，在外调补。由于新设莲花厅的官员、费用，均从吉安府及永新、安福两县内调拨，没有增加新的款项，“此乃实在支出之用，所费无多，有益地方，仍归实用，并非虚糜，较之设县已甚节省”(41)。十月二十五日奉旨核准。“土疆初辟，规模已焕然一新矣。而官俸役食酌剂盈虚，详载如册。衙署学宫，坛宇监库，仓储邮传之属，靡不次第毕举。其缺繁疲难，其铨次调补，其土宇版章，居然仿中县之制也”(42)。莲花厅有专管的地方，同知有管辖刑名钱谷之职责，厅署有照磨、巡检等首领官、杂务官，有自己的厅学、学田，已经与中等规模的县相近。显然，除了莲花厅长官名称仍为分防同知外，其它各方面均已经符合前面设定的行政区划的必要、充分条件，也与光绪年间新设立的抚民厅的各项要素相近。
    到了乾隆十二年(1747年)三月乙未，陕西省裁同州府潼关县，改设潼关厅，说明抚民厅制度从内在要素到外在标志已经完全成熟，不仅仅是析州县边远地区置厅，而且是厅与州县间也可以进行互相替代。更为值得关注的是，潼关厅长官已经是“抚民同知”衔。《清实录》有关此事的记载如下：“吏部等部会议，大学士管川陕总督事公庆复等议覆西安布政使慧中奏裁同州府潼关县缺，其屯地钱粮等事归驻扎之抚民同知管辖，并将潼关县学改为厅学，仍留训导一员。原设之典史、教谕、大庆关巡检，俱裁。抚民同知一缺，改为冲繁难三项要缺，在外拣选等语应如所请。至分隶之户口、兵米草束、常社各仓、驿递夫马、学额，并该厅之养廉、公费盐引各项细数，应俟另议具题到日再议。从之。”(43) 这个奏折中，虽然没有直接出现“潼关厅”三字，但有“厅学”、“该厅”“抚民同知”等字样，说明当时设立的就是“潼关厅”，其长官为抚民同知(44)。因此，最迟到乾隆十二年(1747年)设立潼关厅时，厅制已经完全符合光绪《清会典》的“凡抚民同知、通判、理事同知、通判，有专管地方者为厅”的标准。